穴加工
0.05ｍｍ厚のポリイミドフィルムへのΦ約2μｍ多穴加工
フィルムの裏側から透過光をあてて観察しています。
約Φ2μｍの穴が開いています。
※テスト用フィルムなので、表面の汚れ・キズを無視していたければと思います。
同じ穴加工の表面を異なる方法で観察した結果です。熱ダメージなどの確認です。
このような穴加工を、次の画像のように多穴加工することができます。
↓の例では、0.05ｍｍピッチで400穴加工しています。
0.1mm厚 TiへのΦ３μｍの穴加工
狭ピッチでの穴加工です。熱ダメージ、バリなども見られません。
0.05ｍｍ厚のSUS430へのΦ7μｍのピッチ0.03ｍｍ多穴加工
SUSへの熱ダメージ、歪みなどが発生していません。
0.05ｍｍ厚ポリイミドフィルムへの異形状穴加工
画面上部のスケールの１目盛りが１ｍｍです。
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SUS430（0.05ｍｍ厚）への異なる穴径の穴加工
画像の上から約Φ20μｍ、約Φ40μｍ、約Φ100μｍの穴加工例です。
