穴加工

 0.05ｍｍ厚のSUS430へのΦ7μｍの多穴加工

SUSへの熱ダメージ、歪みなどが発生していません。

0.05ｍｍ厚のSUSにΦ7μｍの穴加工

 

0.05ｍｍ厚ポリイミドフィルムへの異形状穴加工

画面上部のスケールの１目盛りが１ｍｍです。

ポリイミドフィルムへの異形状穴加工）

 

Ti板へのΦ３μｍの穴加工

0.1ｍｍ厚のTi板に約Φ3μｍの穴加工をしています。

 

 

 

SUS430（0.05ｍｍ厚）への異なる穴径の穴加工

画像の上から約Φ20μｍ、約Φ40μｍ、約Φ100μｍの穴加工例です。